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ICM-E 系列集成電路電子級超純水系統
駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級超純水系統以嚴謹的合規性指導系統的設計、制造、安裝和驗證的全過(guò)程，以模塊化的設計集成了多介質(zhì)過(guò)濾、活性炭吸附、軟化、二級RO2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹(shù)脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應用于半導體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。
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